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Les partenaires de recherche :
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Articulation
Les constituants
Les compétences
Développement de
matériaux/couches nouveaux
Materia Nova, Inisma,
UCL &
CDR des grandes entreprises du domaine |
Composants miniaturisés
UCL |
Développement de
nouvelles applications
Microsys (ULg), SIRRIS,
UCL &
Partenariats petites et grandes entreprises |
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Centres de recherches: Cenaero, Certech, CETIC, …
Articulation avec les 5 pôles de compétitivité et LIEU |
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Les volets
- Équipement 1 : Système de micro-usinage
- Système de micro-structuration à impulsions très courtes (picosecondes) de couches micro et nanoscopiques :
- métalliques
- diélectriques
- polymères (résolution < 100 nm)
- Multi-applicatif en microcapteurs :
- MEMS
- circuits RF
- biocapteurs
- micro-fluidique, etc.
- Parrainages : AGC Flat Glass Europe, ArcelorMittal, CISSOID, GILLAM, KAPI, MATRIO, MEMS-Instruments, SENSOI, et SOCHINOR.
- Équipement 2 : Dépôts réactifs
- Contrôle in-situ et reproductibilité des couches de base à l’aide d’un outil d’analyse du dépôt réactif de couches métalliques et d'oxydes métalliques, avec monitoring des contraintes en cours de dépôt. Caractéristiques :
- 5 cibles confocales (dépôt d’alliages, études de type combinatoires)
- Chauffage du substrat jusque 850°C
- Rotation du substrat
- Analyse chimique des gaz in-situ; mesure épaisseur dépôt
- Application à tous les développements de couches minces fonctionnelles et micro-capteurs
- Parrainages : AGC Flat Glass Europe, ArcelorMittal, GILLAM, KAPI, MATRIO, MEMS-Instruments, SENSOI, et SOCHINOR.
- Projet 1: Microcapteurs physico-chimiques
- Objectif : établir la chaîne complète intégrant conception, fabrication, encapsulation, autonomie et validation de capteurs miniaturisés
- Concepts innovants et fabrication de dispositifs intégrés sur Si pour applications industrielles
- Analyse physico-chimique en continu de fluides
- Contrôle de l'état de structures mécaniques - health monitoring
- Capteurs autonomes générant leur énergie durant la mesure
- Deux piliers majeurs :
- Capteurs miniaturisés intelligents plurifonctionnels
- Encapsulation efficace pour intégration directe en environnement réel/industriel
- Parrainages : AGC Flat Glass Europe, ArcelorMittal, CISSOID, MATRIO, et SOCHINOR.
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